中圖儀器國產(chǎn)品牌光學(xué)輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理,，采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面,、超光滑到粗糙等各種表面類型,，其3D重建算法，自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),，在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達(dá)亞納米級(jí)別,，讓3D測量變得簡單。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的光學(xué)檢測儀器,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1,、參數(shù)測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸,、角度,、面積,、體積；

2,、環(huán)境噪聲檢測：實(shí)時(shí)監(jiān)測；

3,、雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,；

4,、自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋,；

5,、雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振,，吸音隔振,。

應(yīng)用領(lǐng)域

雙焦隱形眼鏡的縫合測量

大高深比TSV測量

藍(lán)寶石襯底團(tuán)的形貌測量

單晶太陽能電池三維表征

金屬部件表面的微小劃痕

中圖儀器國產(chǎn)品牌光學(xué)輪廓儀讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠，分辨率0.1μm,，重復(fù)性0.1%,，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便,，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、孔隙間隙,、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷,、臺(tái)階高度、波紋度,、磨損情況,、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性,；

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換,，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口,，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù),。

3、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。